热破坏技术是废气处理应用较为广泛的方法，热破坏技术可分为直接火焰燃烧和催化燃烧。
直接火焰燃烧是指将废气在气流中就直接进行燃烧或者通过辅助燃料进行燃烧。一般情况下，废气浓度较低时，没有辅助燃烧助燃是很难燃烧的。直接火焰燃烧废气处理在恰当温度及时间下，热处理效率可达 99%。
催化燃烧是指废气在气流中直接加热，使用催化剂加速废气中的有机物化学反应，这种废气处理方法相对于直接燃烧法来说，温度更低以及保留时间更短，但废气中含有杂质，容易引起催化剂中毒。用于净化废气的催化剂常见的是金属和金属盐，其中金属又包含贵金属和非贵金属。市场上常见的金属催化剂有 Pt、Pd，具有技术成熟 、催化活性高等特点，但价格昂贵，而且遇到卤素有机物时容易发生氧化反应从而使催化剂失去效果。
