低温等离子体废气处理技术，是一种集物理、化学、生物和环境科学为一体的交叉综合技术，具有能耗低、效率高、无二次污染等特点，其废气处理净化机理主要包含以下两方面：
1、等离子体在通过高压放电产生的过程中，高频放电产生的瞬时高能量足以打开部分废气的化学能，并且将有害气体分子分解成单质原子或无害分子；
2、等离子体在生产过程中具有大量高能电子、正负离子、激发粒子和具有强氧化性的自由基，它们会与废气分子碰撞相结合，再加上电场的作用，最终将废气分子处于激发态。如果废气分子所得能量超过键能，其的化学键发生裂解，然后分解出单质原子或无害气体分子。同时，分解出的活性自由基如·OH、·HO2、·O等，和氧化极强的O3，它们与废气分子发生化学反应，最终产生无害产物。
低温等离子体的废气处理效果具有显著的生物效应，同时还具有优良的消毒灭菌效果。
